Druckbeständige thermoelektrische Strömungssensoren mittels Membranperforation
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kropp, M.; Hartgenbusch, N.; Gu, S.; Sosna, C.; Buchner, R.; Lang, W. (IMSAS (Institut für Mikrosensoren, -aktoren and –systeme), Universität Bremen, Otto-Hahn-Allee, NW1, 28359 Bremen)
Kutzner, C.; Hauptmann, P. (IMOS (Institut für Mikro- und Sensorsysteme), Universität Magdeburg, 39016 Magdeburg)
Abstract:
Eine allgemein verwendete Methode zur Messung geringer Massenströme sind membranbasierte thermoelektrische Flusssensoren. Am IMSAS wurden hochtemperaturbeständige thermische Strömungssensoren entwickelt und hergestellt. Eine druckbeständige Version dieser Sensoren wurde entwickelt, in dem die verwendete Membran mit Perforationen versehen wurde. Durch die Perforation wird eine Gegendruckkompensation erreicht. Hier stellen wir den Herstellungsprozess, erste Messungen und Simulationsergebnisse vor, die eine Druckbeständigkeit von bis zu mindestens 8 Bar zeigen.