Technologien der Mikro-Nano-Integration als Basis für zukünftige High-Tech-Produkte

Abstract:
Die Mikro-Nano-Integration hat in Systemen der Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Sensorik weltweit einen enormen Anstieg zu verzeichnen und besitzt eine nahezu unerschöpfliche Anwendungsvielfalt. Auch bislang elektronik- und mikrosystemtechnikferne Branchen, wie etwa die Nahrungsmittelindustrie, die Life Science-Industrie oder die Bekleidungsbranche nutzen Mikro- und Nanotechnologien für innovative Produkte. Bei der technischen Realisierung dieser hochwertigen, komplexen Systeme wird entsprechend der Anwendungsanforderungen oft eine Kombination aus System on Chip-Lösungen und Systemintegrationstechnologien wie „More than Moore“, „Heterogeneous Integration“ und „Smart System Integration“ genutzt. Aus technologischer Sicht sind 3D-Aufbautechniken auf Wafer- und Modulebene, sowie Einbetttechniken von aktiven und passiven Komponenten in Polymersubstrate zukunftsträchtige Lösungen.