Polarisationsempfindliche Photodioden und Bildsensoren mit integrierten Nanostrukturen in Standard-CMOS
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Junger, Stephan; Tschekalinskij, Wladimir; Verwaal, Nanko; Spinnler, Klaus; Weber, Norbert (Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Am Wolfsmantel 33, 91058 Erlangen, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag werden Entwurf, Simulation, Herstellung und Charakterisierung von Photodioden mit integrierten Subwellenlängengittern beschrieben. Diese polarisationsfilternden Nanostrukturen wurden im Rahmen eines unmodifizierten Standard-CMOS-Prozesses hergestellt, was die Fertigung von Polarisationssensoren sowie von polarisationsempfindlichen Bildsensoren in großen Stückzahlen ermöglicht.