Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Saalfeld, H.; Dinulovic, D.; Gatzen, H.H. (Institut für Mikrotechnologie, An der Universität 2, 30823 Garbsen)
Abstract:
Voraussetzungen für fortschrittliche Hard Disk Drive (HDD) Schreib-/Leseköpfe sind eine minimale Flughöhe und eine perfekte Spurfolge. Durch die Verwendung von Mikrosystemtechnik wurde ein kostengünstiger Schreib-/Lesekopf mit integriertem Mikroaktor (SLIM) entwickelt, welcher sowohl eine Anpassung der Flughöhe als auch eine hochgenaue Spurfolge ermöglicht. Dieser Beitrag beschreibt den Entwurf, die Simulationen und den Fertigungsprozess des SLIMAktivteils. Ferner stellt er technologische Verbesserungen durch eine Prozessumstellung vor und beschreibt die Nutzung im Gesamtsystem.