Konzept und Herstellprozess für neuartige elektrostatische Torsionsaktoren aus Silizium
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Fritz, J.; Pinter, S.; Friese, C. (Robert Bosch GmbH, Entwicklung Sensortechnologiezentrum, Reutlingen)
Pirk, T. (Robert Bosch GmbH, Forschung und Vorausentwicklung, Gerlingen-Schillerhöhe)
Seidel, H. (Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, Universität des Saarlandes, Saarbrücken)
Abstract:
Es wird ein mikromechanisches Torsionsaktorkonzept mit vertikalen Mehrlagenkammelektroden, die für eine bidirektionale statische Aktuierung geeignet sind, präsentiert. Durch die Umkehrbarkeit der Aktuierungsrichtung können die Antriebselektroden auf beiden Seiten der Drehachse gleichzeitig genutzt werden und so die Antriebseffizienz im Vergleich zu herkömmlichen Out-of-Plane-Aktoren um den Faktor 1,75 gesteigert werden. Weiterhin wird ein Prozess vorgestellt, mit dem solche mikromechanischen Scanneraktoren hergestellt worden sind. Diese Aktoren erreichen einen statischen mechanischen Auslenkwinkel von ±7,6Grad bei einer Ansteuerspannung von 280Vdc.