Optische Qualität und Systemverhalten von adaptiven Silikonmembranlinsen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schneider, Florian; Draheim, Jan; Wallrabe, Ulrike (Lehrstuhl für Mikroaktorik, Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg)
Waibel, Philipp (Lehrstuhl für Mikrooptik, Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg)
Müller, Claas (Lehrstuhl für Prozesstechnik, Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg)
Abstract:
In diesem Beitrag vergleichen wir zwei verschiedene adaptive Silikonmembranlinsen: Eine Linse mit einer homogenen Membrandicke und eine mit einer plankonvexen Membrangeometrie. Die Linsensysteme verfügen über einen integrierten Piezoelektrischen Pumpaktor. Die Linse mit plankonvexer Membrangeometrie zeigt eine bessere Linsenqualität (WFFrms = 24 nm) als die Homogene (WFFrms = 31 nm). Jedoch spannt das homogene System verglichen zum inhomogenen einen deutlich größeren Brechkraftbereich von +19...-14 dpt bei UPiezo = ±40 V auf. Die Ansprechzeit der Linse mit homogener Membran beträgt 23,9 ms und die der Linse mit inhomogener Membran 35,4 ms.