Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/ anorganischen Schichtsystemen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Weinberger, S.; Lukman, D.; Hoffmann, M. (TU Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Max-Plank-Ring 12, 98693 Ilmenau, Germany)

Abstract:
Bragg-Reflektoren erlauben eine effiziente, wellenlängenselektive Steuerung optischer Signale. Besonders effizient ist die thermooptische Verstimmung der Filtercharakteristik zu realisieren, ein Applikationsbeispiel findet sich in "D. Hohlfeld, H. Zappe, An all-dielectric tunable optical filter based on the thermo-optic effect". Die Verwendung von passiven Wechselschichtsystemen als optische Filter oder Superprisma ist bekannt. Ein Konzept für ein aktives Schichtsystem zur Strahlablenkung (basierend auf dem elektrooptischen Effekt) wurde in "F. Glöckler, M. Gerken, U. Lemmer, Spatial beam switching using the superprism effect in nonlinear thin-film stacks, Optical System Design" veröffentlicht. Bislang konnten in der Regel nur anorganische Schichtstapel eingesetzt werden. Neue Plasmaverfahren wie die ICP-CVD (induktiv gekoppelte Plasma-Gasphasenabscheidung) erlauben auch Beschichtungen auf Polymeren bei Temperaturen unter 100 °C. Dabei ergeben sich durch die Verwendung von organisch/ anorganischen Wechselschichtsystemen neue Anwendungsmöglichkeiten.