Hochgenaue Mehrfachmontage von großen opto-mechanischen Baugruppen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Schachler, Ralph (AEMtec GmbH, Berlin, Germany)
Rogge, Martin (FINETECH GmbH & Co. KG, Berlin)

Abstract:
Diese Veröffentlichung zeigt eine Lösung für das Bonden großer opto-mechanischer Baugruppen mit einer Genauigkeit besser drei µm auf einem Kühlkörper. Die Anwendung erfordert einen hoch genauen automatischen Die- Bonder, der das Handling großer Substrate und die face-up Montage beherrscht.