Untersuchung eines Mikroplasmas für die Anwendung in einem Mikromassenspektrometer
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Wong, R. Miguel Ramírez; Hauschild, J. P.; Wapelhorst, E.; Müller, J. (Technische Universität Hamburg-Harburg, Eissendorferstr. 42, 21073 Hamburg)
Abstract:
In dieser Arbeit wird die Untersuchung und Optimierung des Mikroplasmas beschrieben, das als Elektronenquelle für die Elektronenstoßionisation im planar integrierten Mikromassenspektrometer (PIMMS) genutzt wird. Verschiedene Auslegungen der Elektroden der Plasmakammer sind getestet und charakterisiert worden. Mittels der durchgeführten Änderungen im Profil der Elektroden werden der Leistungsverbrauch und der Betriebsdruck abgesenkt. Die Elektronenausbeute wird durch die Reduzierung des Dunkelraumes im Plasma maximiert. Dies führt zu einer Erhöhung der Ionisationsrate des Probegases und damit zu erhöhten Ionenströmen am Detektor des PIMMS.