Ein Mikromassenspektrometer mit integrierter Mikrokanalplatte
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Reinhardt, Maria; Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg)
Abstract:
Es werden Messungen mit einem vollständig planar integrierten Mikromassenspektrometer (PIMMS) vorgestellt sowie dessen weiterentwickelte Strukturen. Zu den strukturellen Veränderungen gehören unter anderem: ein längerer Massenseparator und die Integration einer Mikrokanalplatte zur Verstärkung des Ionenstromes. Das PIMMS mit seiner geringen Größe von 70mm2 wurde mit Standardprozessen der Mikrosystemtechnik hergestellt. Das System wird in einer Glas-Silizium-Glas-Kombination aufgebaut. Alle wichtigen Strukturen werden dabei durch einen anisotropen Ätzprozess in die Siliziumschicht eingebracht.