Mikrotechnischer Strömungssensor - für den Einsatz in rauer Umgebung
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Ashauer, M.; Billat, S.; Ashauer, H.; Storz, M.; Kattinger, G.; Hedrich, F.; Zengerle, R. (HSG-IMIT, 78052 Villingen-Schwenningen)
Lust, L. (Elbau Elektronik GmbH, 13088 Berlin)
Abstract:
Wir berichten über einen mikrotechnischen thermischen Strömungssensor, welcher speziell für den Einsatz in rauen Umgebungsbedingungen entwickelt wurde. Der Sensorchip wird in SOI Technologie hergestellt und ist für einen mikromechanischen Sensor sehr robust gegen mechanischen Stress. Der Sensor ist mit einer neuentwickelten Packaging-Technologie direkt in der Wand des Strömungskanals eingebaut. Er wurde erprobt in Wasserströmungen bis 500 l/h und in Luftströmungen bis 100 m/s. Bisher konnten diese Bereiche mit mikromechanischen Sensoren ohne Bypass nicht abgedeckt werden.