Thermodynamischer Neigungs- und Beschleunigungssensor Inclinos zur gleichzeitigen Erfassung der Lage und Beschleunigung im Raum

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Junge, Stefan; Suft, Winfried; Gerlesberger, Peter; Salzberger, Frank; Plöchinger, Heinz (Thyracont Vaccum Instruments GmbH, Max-Emanuel-Straße 10, 94036 Passau, Germany)
Plöchinger, Heinz (Plöchinger Patent, Hinding 68, 4785 Freinberg, Österreich)

Abstract:
Der Sensor Inclinos ist ein thermodynamischer Neigungs- und Beschleunigungssensor mit vier Sensorelementen die gleichzeitig als Heizelement wirken. Diese vier Heizelemente werden durch eine entsprechende Leistungsregelung bei Einwirkung einer beliebigen Beschleunigung immer auf identischer und kostanter Temperatur gehalten. Die dafür benötigte Leistung ist ein Maß für die Beschleunigung/Neigung. Das Paper zeigt Messungen bzgl. der Neigung um ±360 Grad sowie die Beschleunigungssignale bis 2 g. Die Vorteile des thermodynamischen Prinzips: hohe Empfindlichkeit, sehr gute Signalstabilität, keine bewegter Festkörper, keine Mechanik, keine Hysterese, hoher Dynamikbereich (100 g).