Dünnschichtsensorik auf Titandioxidbasis zur Messung von Sauerstoffkonzentrationen bei niedrigen Temperaturen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Biehl, Saskia; Hauschild, Frank; Wolf, Lisa (Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Bienroderweg 54 E, 38108 Braunschweig, Deutschland)
Abstract:
Die typischen Betriebstemperaturen von Gassensoren zur Sauerstoffdetektion liegen zwischen 350 °C und 1000 °C. Um die möglichen Anwendungsgebiete zu erweitern ist es notwendig die Betriebstemperatur, bei Aufrechterhaltung der Empfindlichkeit, zu verringern. Das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST) entwickelt daher Dünnschichtsensorsysteme, deren Betriebstemperaturen zwischen 150 °C und 250 °C liegen.