Parylen C basierte organische Schaltungen für Applikationen in Implantaten
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Feili, D.; Seidel, H. (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbrücken)
Schuettler, M.; Stieglitz, T. (Universität Freiburg, Lehrstuhl für Biomedizinische Mikrotechnik, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, 79110 Freiburg)
Abstract:
Durch die Integration flexibler, polymer-basierter elektronischer Schaltkreise, bieten sich neue Möglichkeiten und damit auch erweiterte Anwendungen für Neuromikroelektroden. Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines flexiblen biokompatiblen organischen Feldeffekt-Transistors (OFETs) für neuroprothetische Anwendungen. Hierfür wurden Parylen C basierte OFETs entwickelt und aufgebaut, sowie die Eigenschaften von Parylen C als Isolatorschicht untersucht. Als Drain und Source wurden gesputterte Goldelektroden verwendet. Als aktive Schicht wurde Pentazen (C14H22) in einer UHV-Aufdampfanlage bei 75 °C Substrattemperatur mit 1 nm/min Aufdampfrate abgeschieden. Die Funktion der Transistoren konnte demonstriert werden. Aufgrund der prozessbedingten großen Rauigkeit der Parylen C Oberflächen, die als Gate-Isolator genutzt wurden, war die Mobilität der Ladungsträger gering und die Transistoren wiesen eine große Einsatzspannung auf.