Einfluss von Nanokompositen auf die Zuverlässigkeit und die mechanischen Eigenschaften von Feuchtesensoren
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Hammacher, Jens; Seiler, Bettina (Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH, Chemnitz, Germany)
Saettler, Peter; Kreyssig, Kerstin; Michel, Bernd (Fraunhofer ENAS, Dept. Micro Materials Center, Chemnitz, Germany)
Martin, Jörg (Fraunhofer ENAS, Dept. Multi Device Integration, Chemnitz, Germany)
Abstract:
Der größte Teil der heute produzieren Sensoren basieren auf der MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) Technologie. Diese Herstellung ist jedoch sehr kostenintensiv und erfordert höchste Ansprüche an die Herstellungsbedingungen und -prozesse. Zusätzlich sind die Erzeugnisse limitiert in ihren Abmessungen und bei den verwendbaren Substraten. Die Adaption von Polymeren eröffnet dabei neue Wege für die kostengünstige und flexible Herstellung von Sensoren für diverse Einsatzgebiete. In aktuellen Arbeiten wird die Applikation von Nanopartikeln für die funktionalen Schichten in Feuchtesensoren untersucht. Erste Prototypen eines kapazitiven Feuchtesensors wurden bereits hergestellt und bezüglich ihrer Funktion und Qualität verifiziert. Die Ergebnisse werden im folgenden Beitrag demonstriert.