Selbstorganisierte Chipmontage

Abstract:
Eine höhere Integrationsdichte und weitere Verkleinerung kommender Chipgenerationen führen zu Defiziten in der Mikromontage. Dies erfordert den Einsatz neuer Handhabungs- und Montageprinzipien zur Positionierung und Ausrichtung von Mikrochips, deren Kantenlängen 500 µm oder kleiner sind. In den dargestellten Forschungsarbeiten wird die flüssigkeitsbasierte Montage von Mikrochips, welche auf Effekten der Selbstorganisation beruht, behandelt. Die Selbstorganisation wird durch den Einsatz von Flüssigkeiten in Form kleinster Tropfen auf strukturierten Oberflächen erreicht. Die Oberflächen besitzen Bereiche mit unterschiedlichen Benetzungseigenschaften. Die in diesem Aufsatz präsentierten Ergebnisse bilden die Fortführung vorangegangener Arbeiten auf diesem Gebiet. In den Untersuchungen wurde mittels Experimenten die Streuung der durch einen Jet-basierten Dispenser applizierten Mikrotropfen um das Zielgebiet auf dem Substrat untersucht. Die Tropfen haben ein Volumen von wenigen nl und einen Durchmesser von 200 µm.