Applikationsbeispiele für Mikrostrukturen in PDMS

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Riedl, X.; Bolzmacher, C.; Wagner, R.; Bauer, K. (EADS Innovation Works, Willy Messerschmitt Straße, 81663 München)
Schwesinger, N. (Fachgebiet Mikrostrukturierte mechatronische Systeme, Technische Universität München, Arcisstraße 21, 80290 München)

Abstract:
Polydimethylsiloxan (PDMS) findet zunehmend Anwendung in der Mikrosystemtechnik und insbesondere in der Biotechnologie. In diesem Beitrag werden verschiedene Applikationsbeispiele für die Verwendung von Mikrostrukturen in PDMS für die Luft- und Raumfahrtindustrie vorgestellt. Im Speziellen wird eine Machbarkeitsstudie eines kapazitiven Drucksensors mit einem strukturieren Dielektrikum aus PDMS vorgestellt. Hierbei wird die technologische Umsetzung von ersten Teststrukturen vorgestellt. Im Anschluss werden die Ergebnisse der statischen und dynamischen Charakterisierung des Sensors gezeigt.