Simulation des Laserabgleichs von Dünnfilmwiderständen mit Widerstandsnetzwerk im Schaltungssimulator

Abstract:
Hochgenaue Analogschaltungen profitieren von stabilen Dünnfilmwiderständen. Das Lasertrimmen ist eine Methode, auch die absolute Genauigkeit des Widerstandswerts einzustellen. Hier wird über eine einfache Methode zur Simulation des Vorgangs berichtet, die den zu trimmenden Dünnfilmwiderstand als ein Netzwerk aus einzelnen Widerständen beschreibt und mit einem analogen Schaltungssimulator berechnet. Der Laserpuls wird durch eine Erhöhung der betroffenen Teilwiderstände emuliert. Der Gesamtwiderstand, das elektrische Potential, Stromverlauf und Verlustleistung lassen sich graphisch darstellen. Ein kleines Programm ResCut setzt die Geometrieinformationen in ein Eingabefile für den Simulator um. Dieser konzeptionell einfache Simulator erlaubt eine schnelle Abschätzung des Trimmvorgangs.