Senkerosion von Mikrostrukturen in gesintertem, elektrisch isolierendem ZrO2

Abstract:
Auf Grund des vermehrten Einsatzes von isolierenden Hochleistungskeramiken besteht ein steigender Bedarf an Strukturierungsverfahren für diese Materialien. Die Funkenerosion mit Hilfe einer Assistenzelektrode bietet die Möglichkeit, elektrisch isolierende Keramiken im gesinterten Stadium zu strukturieren. In dieser Arbeit wurden Mikrostrukturen, wie Kanäle, mittels Senkerosion in Zirkonoxidproben abgeformt. Zudem konnte mittels Bahnerosion z.B. eine Taschengeometrie generiert werden. Hierbei wurden wie in der klassischen Funkenerosion Schrupp- und Schlichtstrategien entwickelt und angewandt. Die mit dieser Technologie erzeugten Strukturen besitzen minimale Abmessungen von 80 x 195 x 3000 µm³. Die erzielten Oberflächenkennwerte liegen für das Schruppen bei Ra = 0,69 µm und für das Schlichten bei Ra = 0,33 µm.