Automatisierung der LIGA Produktion
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schwartz, G.; Hahn, L.; Skupin, H.; Gengenbach, U.; Bretthauer, G. (Universität Karlsruhe, Institut für Angewandte Informatik/Automatisierungstechnik, Kaiserstr.12, 76131 Karlsruhe)
Abstract:
Im Rahmen des Verbundprojektes FELIG (Modulare Fertigungsstraße für Mikrobauteile über Röntgentiefenlithographie und Galvanik), welches vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF), im Rahmen des Programms „Forschung für die Produktion von morgen“ gefördert wurde, ist die erste automatisierte Anlage zur Produktion von metallischen Mikrosystemteilen, die nach dem LIGA-Verfahren (Röntgentiefenlithographie und Galvanik ) hergestellt werden, errichtet worden. Die Prototypanlage ist komplett aufgebaut und erste Produktionstests wurden durchgeführt. Industrielle Anwendungen von metallischen Mikroteilen, nach dem oben beschriebenen Verfahren, sind Zahnräder für Mikromotorgetriebe und Uhren. Weitere mögliche Anwendungsgebiete liegen in der Herstellung von Mikroteilen für die Medizintechnik und Sensoren.