Dünnfilmtechnische Herstellung eines rotierenden Synchronmotors
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Pape, F.; Creutzburg, T.; Traisigkhachol, O.; Gatzen, H. H. (Institut für Mikrotechnologie, An der Universität 2, 30823 Garbsen)
Abstract:
Frühe Arbeiten an rotierenden Mikromotoren zeigten, dass es schwierig ist, mittels Dünnfilmtechik im Opferschichtverfahren brauchbare, tribologisch belastbare Lagerungen zu schaffen. Mit den hier vorgestellten Arbeiten soll ein Weg aufgezeigt werden, wie dies möglich ist: durch die Kombination eines hybriden Aufbaus mit einer feinwerktechnischen Lagerung. Hierzu wurde ein rotierender Synchronmotor entwickelt, dessen Stator dünnfilmtechnisch gefertigt ist, der einen diskreten, hartmagnetischen Rotor besitzt und dessen Lagerung auf Saphirkugeln erfolgt.