Auslenkbare SiO2-Membranen zur Abstimmung von Si-Nanowires
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin, Germany
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: englishTyp: PDF
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Authors:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Lipka, Timo; Savov, Angel; Müller, Jörg (TU Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Hamburg, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird ein elektrostatisch auslenkbares SiO2-Membransystem präsentiert, das die thermo-optische und elasto-optische Abstimmung von photonischen Silizium Nanowires erlaubt. Mit diesem Membransystem ist ein optischer Schalter mit weniger als 1 mW Schaltleistung realisiert worden.