Der Nanoklettverschluss als Verbindungselement in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
10/12/2009 - 10/14/2009 at Berlin
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Hoffmann, Martin; Wystup, Clemens (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau)
Abstract:
Nano-Nadeln erlauben die effiziente Fixierung von AFM-Nadeln auf einem Wechsel-Plug. Der Nano-Klettverschluss verhindert dabei eine Verschiebung der AFM-Spitze auf dem Wechselkopf während der Montage. Durch gezielte Modifikation der Oberflächeneigenschaften können die Nanokapillaren im Si-Gras benetzbar für polymere Kleber gemacht werden, um den Klettverschluss zu fixieren und eine Partikelemission sicher zu unterbinden.