Drucken von mikro- und nanoskaligen Funktionsschichten auf Thermoplasten zur Erhöhung der Integration mikrosystemtechnischer Packages
Conference: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03/03/2010 - 03/04/2010 at Erfurt, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Eberhardt, W.; Keck, J.; Willeck, H. (Hahn-Schickard-Institut für Mikroaufbautechnik HSG-IMAT, Stuttgart, Deutschland)
Polzinger, B.; Kück, H. (Universität Stuttgart, Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik IZFM, Stuttgart, Deutschland)
Abstract:
Drucktechniken wie das neuartige Aerosol Jet(R)-Verfahren bieten vielfältige Möglichkeiten zum additiven Aufbau von funktionalen Strukturen aus Leiterbahnen, Bauelementen sowie verschiedenen Sensorelementen auf polymerbasierten Substraten. Mit dem Aerosol Jet(R)-Verfahren wurden Temperatur- und Dehnungssensoren aus nanoskaligen Silbertinten auf thermoplastischen Substraten aufgebaut und charakterisiert.