Hochgenaue Positionsbestimmung und Topologievermessung

Abstract:
Die Methode der Mehrwellenlängeninterferometrie (MWLI) ermöglicht die berührungslose sub-nanometergenaue Vermessung von Abständen bzw. die entsprechend hochgenaue Kontrolle von Abstandsänderung aus großem Arbeitsabstand mit in einem großen Messbereich. Die spezielle Verrechnung der Signalinformation erlaubt hierbei die sub-nanometergenaue Bestimmung der absoluten Position des Testobjektes in einem millimetergroßen Eindeutigkeitsbereich. Der vollständig faserbasierte Aufbau mit dem kleinen Sensorkopf erlaubt die Durchführung von Messungen selbst in komplexen Experimentier- oder Produktionsaufbauten. Mit vier Sensorköpfen ist die simultane Vermessung von vier Abständen möglich.