Neuartige Zahnsensoren auf GMR-Basis für anspruchsvolle Winkel- und Längenmessaufgaben
Conference: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03/03/2010 - 03/04/2010 at Erfurt, Germany
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Slatter, Rolf; Buss, René (Sensitec GmbH, Lahnau, Deutschland)
Abstract:
Das GLM Zahnsensormodul integriert einen Zahnsensorchip, basierend auf GMR (Riesenmagnetowiderstand) Multilagen, jeweils wenige Nanometer dick, mit einem starken Stützmagnet in einem kompakten und extrem robusten Gehäuse. Dieses miniaturisierte Modul ermöglicht eine sehr genaue Messung von sowohl linearen als auch rotatorischen Bewegungen bei hohen Auflösungen und sehr hohen Geschwindigkeiten. Dieses industrielle Beispiel der Mikro-Nano-Integration öffnet ganz neue konstruktive Möglichkeiten für die Entwickler für eine Vielzahl von unterschiedlichen Maschinen und Geräten.