Integration von feinmechanischen Verfahren in die Mikrotechnik zur kostengünstigen Herstellung von magnetischen Mikrosystemarrays
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
05/10/2010 - 05/11/2010 at Darmstadt, Germany
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Staab, Matthias; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird ein kostengünstiges Verfahren zur Bereitstellung von magnetischem Fluss in Mikrosystemen und Mikrosystemarrays vorgestellt. Ermöglicht wird diese Technologie durch die Verwendung von Leiterplattenmaterial FR4 als Mikrostruktur-Substrat, das den Einsatz von feinmechanischen Verfahren wie CNC-Fräsen oder Laserstrahlschneiden erlaubt. Das FR4-Substrat wird rückseitig feinmechanisch gefräst und gebohrt, die Bohrlöcher werden mikrogalvanisch aufgefüllt und so die magnetischen Flussführungen erzeugt. Abschließend werden Makromagnete von der Substratrückseite ohne besondere Anforderungen an die Montagegenauigkeit eingesetzt. Zentrale Herausforderung ist die Wahl einer geeigneten Gegenelektrode für die galvanische Abscheidung.