Herstellung und Replikation von großformatigen Formeinsätzen mit Mikrodüsenarrays durch Galvanoformung von geprägten Kunststoffbauteilen mit hohem Aspektverhältnis
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
05/10/2010 - 05/11/2010 at Darmstadt, Germany
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kaiser, Konradin; Kolew, Alexander; Guttmann, Markus; Wissmann, Markus (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Abstract:
Zur Herstellung von Mikrobauteilen und mikrostrukturierten Bauteilen aus Kunststoff werden Präge- oder Spritzgießwerkzeuge aus Metall verwendet. Für viele Strukturen ist die Herstellung nur durch mikromechanische Verfahren möglich. Allerdings ist beispielsweise die Herstellung von großen Strukturfeldern durch Mikrofräsen unwirtschaftlich und beinhaltet stets das Risiko von Werkzeugbruch, der zu einer Beschädigung der gefrästen Struktur führen kann. In diversen Arbeiten am Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) wurden daher Formeinsätze für Strukturen mit Mikrodüsen durch die Galvanoformung von heißgeprägten Kunststoffbauteilen hergestellt. Die technische Herausforderung besteht hierbei zum einem im spaltfreien Fixieren der Bauteile auf einer Substratplatte und zum anderem im gesteuerten Überwachsen der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis durch eine angepasste Metallisierung.