Optimierung von piezoelektrischen Pumpaktoren für adaptive Linsen mit großer Apertur
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
05/10/2010 - 05/11/2010 at Darmstadt, Germany
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Draheim, Jan; Kamberger, Robert; Burger, Tobias; Schneider, Florian; Wallrabe, Ulrike (Lehrstuhl für Mikroaktorik, Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK), Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany)
Wallrabe, Ulrike (Freiburg Institute for Advanced Studies (FRIAS), Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Albertstrasse 19,79104 Freiburg, Germany)
Abstract:
In dieser Arbeit werden multilagige piezoelektrische Ringaktoren für adaptive Linsen entwickelt. Die Linsenbrennweite ist über die Aktorspannung einstellbar. Zur Erhöhung des Brennweitenbereichs sowie zur Ansteuerung einer Linse mit vergrößerter Apertur werden anstatt monomorpher, multilagige piezoelektrische Aktoren mit größerem Pumpvolumen entwickelt. Es wurden Pumpen mit bimorphen Aktoren gefertigt, die ein Pumpvolumen von V(Pump) = 6,01 Mikroliter bei -40 V zeigen. Dies entspricht einer Steigerung um 73,7 % gegenüber dem vorherigen Design, monomorpher Ausführung.