Nichtlinearitäten in Ausleseschaltungen für kapazitive Nieder-g-Beschleunigungssensoren
Conference: Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung
05/18/2010 - 05/19/2010 at Nürnberg
Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2010
Pages: 8Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Strache, Sebastian; Wunderlich, Ralf; Heinen, Stefan (Integrierte Analogschaltungen und HF Systeme RWTH-Aachen, Templergraben 55, 52056 Aachen, Deutschland)
Droste, Dirk (Robert Bosch GmbH, Abteilung AE/EIS2, Postfach 1342, 72703 Reutlingen, Deutschland)
Abstract:
In dieser Veröffentlichung wird die Linearität verschiedener Ausleseschaltungskonzepte für kapazitive MEMS-Beschleunigungssensoren verglichen. Lineare Sensorkennlinien sind vor allem für das Auslesen von Nieder-g-Beschleunigungssensoren von entscheidender Bedeutung, damit diese einen großen Dynamikbereich und eine maximale Auflösung erzielen. Des Weiteren wird ein an die besonderen Anforderungen für steife Nieder-g-Sensoren angepasstes Ausleseschaltungskonzept vorgestellt, das mit Hilfe einer Rückkopplung sowohl einen großen Dynamikbereich als auch umfassende Selbsttest- und Kompensationsmöglichkeiten aufweist.