Fabrikation hochstabiler Mikrotaster zur Analyse von Mikrobohrungen
Conference: Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung
05/18/2010 - 05/19/2010 at Nürnberg
Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2010
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Völlmeke, S.; Bartuch, H.; Semmler, K.; Röder, R.; Steinke, A. (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Geschäftsfeld MEMS, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt, Deutschland)
Peiner, E. (Institut für Halbleitertechnik, Hans-Sommer-Straße 66, 38106 Braunschweig, Technische Universität Braunschweig, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag beschreibt die erfolgreiche Implementierung der Grundlagenuntersuchungen an piezoresistiven Mikrotastern aus dem universitären Forschungsumfeld in die Pilotproduktion einer wirtschaftsnahen Forschungseinrichtung. Qualitätsmerkmale, wie beispielsweise die Ausbeute und die Langzeitstabilität des Offsets der Piezoresistiven Brücken, konnten dabei signifikant erhöht werden. Die Basis dieses Technologietransfers bildet die im CiS Forschungsinstitut etablierte und im hochvolumigen Prototyping erprobte 4"-Wafer-Technologie zur Herstellung piezoresistiver Drucksensorchips.