Statistische Behandlung von Modellierung und inversem Problem in der Scatterometrie
Conference: Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung
05/18/2010 - 05/19/2010 at Nürnberg
Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2010
Pages: 2Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Henn, Mark-Alexander; Groß, Hermann; Bär, Markus (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestraße 2-12, 10587 Berlin, Deutschland)
Abstract:
Der bisherige Ansatz der Behandlung des inversen Problems der Scatterometrie ist strikt deterministisch. D. h., es wird genau die Profilgeometrie gesucht, die das gemessene Scatterogramm am besten erzeugt. In dem vorliegenden Artikel werden die Probleme aufgezeigt, die sich bei einer solchen Herangehensweise ergeben, insbesondere im Hinblick auf die Abschätzung der Messunsicherheit der rekonstruierten Profilparameter. Ein alternativer, auf dem Bayes’schen Begriff der bedingten Wahrscheinlichkeit beruhender Ansatz wird diskutiert.