Metrologie und Messunsicherheit von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Abstract:
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen sind Präzisionsgeräte zur nanometergenauen Positionierung und Vermessung von Objekten mit Abmessungen bis in den Dezimeterbereich. Ihre metrologischen Eigenschaften hängen nicht nur von der Qualität der Einzelkomponenten, sondern in hohem Maße vom metrologischen Gesamtkonzept ab. Hierzu gehören neben fehlerarmen konstruktiven Gestaltungsprinzipien auch leistungsfähige Kalibrierstrategien einschließlich der Korrektur systematischer Abweichungen, eine lückenlose Rückführbarkeit auf nationale und internationale Normale sowie eine effektive Budgetierung der Mess- und Positionierunsicherheit. Der vorliegende Beitrag beleuchtet die Problematik an Hand einer konkreten Nanopositionier- und Messmaschine.