Mikroakustische Resonatoren für Funksensorsysteme

Conference: Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung
05/18/2010 - 05/19/2010 at Nürnberg

Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2010

Pages: 7Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Droit, C.; Friedt, J.-M.; Ballandras, S. (SENSeOR SAS, TEMIS Innovation, 18 rue Alain Savary, 25000 Besançon, France)
Friedt, J.-M.; Martin, G.; Ballandras, S. (FEMTO-ST, UMR 6174 UFC-CNRS-ENSMM-UTBM, 26 Chemin de l'Epitaphe, 25030 Besançon Cedex, France)
Loschonsky, M. (SENSeOR GmbH, Georges-Köhler-Allee 106, 79110 Freiburg, Deutschland)

Abstract:
Oberflächenwellen (OFW), englisch auch "Surface Acoustic Wave" (SAW) genannt, basierende Frequenzfilter und Verzögerungsleitungen werden seit vielen Jahren im Telekommunikations- und Nachrichtenwesen verwendet. Ebenso sind die Einflusseffekte von Umgebungsparamatern physikalischer Größen (wie Temperatur, Stress, Drucke, …) auf solche Bauelemente weitgehend bekannt und man kann sich diese Eigenschaften für die Entwicklung von Sensoren zu Nutze machen. Das intrinsische Frequenzverhalten solcher Sensoren, welche elektromagnetische mittels Piezoeffekts in akustische Energie wandelt, ist dabei ideal geeignet für passive Funksensoren. Für Messanwendungen bietet die Resonatorstruktur die Vorteile der sehr geringen Baugröße, der sehr hohen Frequenzstabilität und der hohen Güte im Vergleich zu Verzögerungsleitungen. Im nachfolgenden werden dann Arbeiten für ein dediziertes Messsystem auf der Basis eines frequenzabtastenden Netzwerkanalysators als effektivere und kostengünstige Alternative zu FFT-basierten Auslesestrategien von Resonatoren für ein Funksensorsystem vorgestellt. Der Schwerpunkt liegt dabei im 1,7 MHz breiten europäischen ISM Band bei 433 MHz aufgrund des günstigen Verhältnisses zwischen Sensor- und Antennengröße, der günstigeren Sensorfertigung aufgrund der geringeren Strukturauflösung und der geringeren Dämpfung des Abfragesignals in dielektrischer Messumgebung. Es werden Eigenschaften, Lösungsansätze und Ergebnisse für Abfragereichweiten, Messgenauigkeit und Softwarestrategien für die digitale Signalverarbeitung diskutiert. Insbesondere die und Anwendungsgrenzen für zahlreiche industriellen Anwendungen vorgestellt und diskutiert.