Testmethodik zur Untersuchung von geringen Leckströmen
Conference: Zuverlässigkeit und Entwurf - 4. GMM/GI/ITG-Fachtagung
09/13/2010 - 09/15/2010 at Wildbad Kreuth, Germany
Proceedings: Zuverlässigkeit und Entwurf
Pages: 8Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kirsten, Dagmar; Rolapp, Alexander; Nuernbergk, Dirk M. (IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird eine Schaltung zur Untersuchung geringer Leckströme vorgestellt. Eine programmierbare Floating-Gate-Referenzspannungsquelle wird mit einem DUT (Device under Test) verbunden, dessen Leckstromfluss das Floating-Gate entlädt. Der Ladungsverlust aufgrund des Leckstromflusses verursacht eine Änderung der Ausgangsspannung der Referenz. Ein Rückschluss auf die Höhe des Leckstromes ist durch die Messung der Ausgangsspannungsänderung möglich. Der Aufbau einer Schaltung zur Untersuchung geringer Ströme im Bereich von I = 10-12 … 10-16 A wird beschrieben. Der Messaufbau wird dargestellt. Messergebnisse für ein DUT und der Weg zur Bestimmung des Leckstromes werden gezeigt.