In-Situ Erzeugung von Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrähten in Silizium-Mikrosystemen
Conference: Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
03/03/2011 - 03/04/2011 at Stuttgart, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Quednau, Sebastian; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
Metallische Mikro- und Nanodrähte sind für eine Vielzahl von Mikrosystemen wie Mikroschalter, Bio-MEMS und Mikrosensoren interessant. In dieser Arbeit wird ein Prozess vorgestellt, der es ermöglicht, Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrähten in-situ in einem Mikrosystem zu erzeugen. Dabei kommt das inzwischen weit entwickelte Ionenspurätzverfahren zum Einsatz. Durch den entwickelten Prozess entfällt jeglicher Füge- und Montageschritt zur Integration der Mikro- und Nanodrähte. Dadurch können Mikrosysteme, die Mikro- bzw. Nanodrahtarrays als Funktionselemente benötigen, in einem Batchprozess hergestellt werden.