Untersuchungen zur Nanoporosität von AlN Membranen
Conference: Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop
03/03/2011 - 03/04/2011 at Stuttgart, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Polster, T.; Leopold, S.; Hoffmann, M. (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano(R),FG Mikromechanische Systeme, Ilmenau, Deutschland)
Stauden, T. (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano(R), FG Nanotechnologie, Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Mit der Herstellung freitragender Membranen bestehend aus nanokristallin texturierten Aluminiumnitrid (AlN) Dünnschichten eröffnen sich viele neue interessante Applikationsfelder. Für eine erfolgreiche Integration solcher Membranelemente mit Dicken von wenigen 100 nm müssen diese eingehend hinsichtlich ihrer mechanischen, optischen und thermischen Eigenschaften untersucht werden. Verschiedene Hinweise auf das Vorhandensein von Nanoporen in diesen Membranen führten zur gezielten Untersuchung ihrer Porosität. Dazu werden druckstabile Membranen ausgewählt und nach entsprechendem Aufbau mit einem Helium-Lecktester hinsichtlich ihrer Leckage untersucht. Es stellten sich Helium-Leckraten im Bereich von 10-5 bis 10-6 mbar x l/s ein. Eine weitere Verifizierung der Porosität erfolgte mit spezifischeren Untersuchungen mittels Massenspektrometer und der Abschätzung der Anzahl der Poren auf Basis der ermittelten Summenporendurchmesser. Abschließend deckt die Diskussion weitere interessante Fragestellungen auf, die zum Verständnis des festgestellten Phänomens beitragen sollen.