Bistabiles Formgedächtnis-Mikroventil
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Megnin, C.; Barth, J.; Kohl, M. (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Herrmann-von-Helmholtz-Platz-1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag beschreibt den Aufbau, die Herstellung und Charakterisierung von neuartigen bistabilen 3/2-Wege Formgedächtnis-Mikroventilen mit Gesamtabmessungen von 11 x 6 x 4 mm3. Der Schaltvorgang erfolgt über zwei gegeneinander vorgespannte Brückenaktoren aus einer Formgedächtnislegierung (FGL). Die beiden stabilen Positionen werden über magnetische Haltekräfte realisiert. Zur Steigerung der fluidischen Eigenschaften wurde eine detaillierte Designuntersuchung der magnetischen Haltestrukturen und der Abstände funktionserfüllender Zwischenschichten durchgeführt. Diese Designoptimierung ermöglicht bistabiles Schaltverhalten bis zu einer maximalen Druckdifferenz von 3,0 bar bei Durchflüssen von 2200 ml/min (N2) im offenen Zustand und eine Leckage unter 1 ml/min im geschlossenen Zustand.