Mikrosensorsystem auf Basis paralleler integriert-optischer Mach-Zehnder-Interferometer in neuartigem Polymer
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Sieber, Heinrich; Boehm, Hans-Jürgen; Schüle, Sven; Hollenbach, Uwe; Mohr, Jürgen (Institut für Mikrostrukturtechnik, Karlsruher Institut für Technologie, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Ostrzinski, Ute; Pfeiffer, Karl (micro resist technology GmbH, Köpenicker Straße 325, 12555 Berlin, Deutschland)
Abstract:
Optische und photonische Mikrosysteme besitzen günstige Eigenschaften bezüglich effizienter Echtzeitmessung, Standortunabhängigkeit und Integrationsfähigkeit und spielen eine wichtige Rolle in der modernen Sensorik und Analytik. Wir berichten über ein mikrooptisches System zur interferometrischen Stoffanalyse auf Basis planarer Lichtwellenleiter in einem neuartigen Polymergemisch. Das Material ermöglicht die Herstellung mikrooptischer Sensorsysteme die über standardisierte Faserarrays an optische Standardschnittstellen gekoppelt werden können. Erste Feuchtigkeitsmessungen mit einem Interferometer zeigen einen Kontrast von etwa 80 % und eine Brechzahlauflösung von etwa 0,0005.