Hochintegrierte optische Koppler und Resonatoren aus amorphem Silizium
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Lipka, Timo; Amthor, Julia; Horn, Oliver; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg, Deutschland)
Abstract:
Im Rahmen dieser Arbeit wurden photonische Basiskomponenten wie Koppler und Resonatoren mit verlustarmen amorphem Silizium hergestellt und materialspezifische Eigenschaften des Materials untersucht. Eine verbesserte Lichteinkopplung in sub-µm Wellenleiter konnte mit 3D-Tapern erzielt werden.