Adaptive piezoelektrische Axiconspiegel für ultrakurze Laserpulse
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Brunne, J.; Wallrabe, U. (Universität Freiburg - IMTEK - Institut für Mikrosystemtechnik, Lehrstuhl für Mikroaktorik, Freiburg, Deutschland)
Grunwald, R. (Max-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie, Berlin, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird der erste mechanisch durchstimmbare Axiconspiegel vorgestellt. Mögliche Anwendungsgebiete für dieses neuartige optische Element reichen von der Mikro- und Nanomaterialbearbeitung über die Fluoreszenzmikroskopie bis zu optischen Pinzetten. Der Chip besteht aus einem Piezosubstrat mit strukturierten Elektroden, einer aufgeklebten reflektierenden Schicht und einem weichen Silikonstützring, der eine Rotationsbewegung um den äußeren Rand des Bauteils erlaubt. Das Design wird mit Hilfe einer automatisierten FEM-Simulation optimiert. Die Fertigung erfolgt durch Lasermikrobearbeitung, was eine schnelle Prototypentwicklung erlaubt. Das fertige Bauteil wird optisch und mechanisch charakterisiert.