Charakterisierung eines neuen mikrostrukturierten Substrats für gassensitive, nanokristalline Metalloxide
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kühn, Karsten; Schütze, Andreas (Lehrstuhl für Messtechnik, 66123 Saarbrücken, Deutschland)
Kannan, Srinivasan; Rieth, Loren; Solzbacher, Florian (ECE Department, Salt Lake City, UT-84112, USA)
Bütefisch, Sebastian (PTB, 38116 Braunschweig, Deutschland)
Abstract:
Im Fokus dieser Arbeit steht die elektrische/thermische Charakterisierung sowie die gasmesstechnische Untersuchung eines neuartigen, auf halbleitenden Dünnschichten basierenden, mikrostrukturierten Gassensorsubstrats zur Detektion typischer Verbrennungsabgase (CO, NOx, CH, NH3). Als gassensitive Dünnschichten wurden sowohl n-leitendes Indiumoxid (In2O3) als auch p-leitendes Nickeloxid (NiO) untersucht.