Kostengünstiges zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schwenck, A.; Kück, H.; Mayer, V. (Institut für Mikroaufbautechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (HSG-IMAT), Allmandring 9b, 70569 Stuttgart, Deutschland)
Pojtinger, A.; Philipp, N.; Remer, U. (2E mechatronic GmbH & Co. KG, Maria-Merian-Straße 29, 73230 Kirchheim unter Teck, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird ein zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem mit Auflösungen unter einem tausendstel Winkelgrad in einem Messbereich von +/-2 Grad vorgestellt. Genauigkeit und Auflösung sind dabei über einen großen Winkelbereichbereich konstant. Für die Messung wird die Position einer Luftblase innerhalb einer flüssigkeitsgefüllten spärischen Libelle kapazitiv ausgelesen. Im Rahmen der Forschungen wurde zunächst die Geometrie der Sensorzellen rechnerisch ausgelegt, dann erfolgten der Aufbau und die Charakterisierung von ersten Demonstratoren des Inklinometersystemes. Für die Vermessung der Sensoren wurde eigens ein Präzisions-Messplatz aufgebaut. Die Ergebnisse der Charakterisierung weisen die Leistungsfähigkeit der Technologie nach. Typische Anwendungen sind die Nivellierung von Werkzeugmaschinen oder die Überwachung von Bauten und technischen Systemen wie z. B. Offshore-Windparks.