Hybridintegration von MEMS-Strömungssensoren zur Messung kleinster Differenzdrücke
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Billat, S.; Storz, M.; Reinecke, H. (Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft e.V. (HSG-IMIT), Wilhelm-Schickardstraße 10, 78052 Villingen-Schwenningen, Deutschland)
Spreitzer, W.; Moser, W. (Gruner AG, Bürglestraße 15-17,78564 Wehingen, Deutschland)
Remer, U.; Philipp, N. (2E mechatronic GmbH & Co. KG, Maria-Merian-Straße 29, 73230 Kirchheim unter Teck, Deutschland)
Dobmeier, M. (MicroMountains Applications AG, Romäusring 4, 78050 Villingen-Schwenningen, Deutschland)
Abstract:
Im Rahmen des Verbundprojektes HybridFlow ist es gelungen, den thermischen Membran-Strömungssensor des HSG-IMIT so zu konzipieren, dass dieser einfach und kostengünstig für unterschiedliche Anwendungen zur Messung kleinster Differenzdrücke (< 1000 Pa) oder Durchflüsse (< 10 ml/min Luft) modular adaptiert werden kann. Schlüssel zur erfolgreichen Lösung ist, die sensorischen Elemente des MEMS Chips durch geeignete Gehäusung fluidisch, mechanisch und elektrisch an die Umgebung anzubinden. Dabei wurden zwei Konzepte verfolgt: Laserschweißen von Kanalstrukturen und die monolithische Integration des Strömungskanals innerhalb des Siliziumchips in Verbindung mit einem innovativen Molded-Interconnect-Device (MID) Gehäuse.