Optimierung eines Paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Vonderschmidt, Stefan; Müller, Jörg (Institut für Mikrosystemtechnik, Technische Universität Hamburg-Harburg, Hamburg, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag beschreibt die Entwicklung eines paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik. Sauerstoff ist aufgrund seiner Elektronenkonfiguration ein paramagnetisches Gas - in einem inhomogenen Feld wirkt auf Sauerstoff eine Kraft in Richtung des Feldgradienten. Diese magnetische Eigenschaft wird ausgenutzt um den Sauerstoff von seiner ursprünglichen Bahn in einen Messkanal abzulenken, indem mittels Thermoanemometern die Flussgeschwindigkeit gemessen wird. Diese Flussgeschwindigkeit ist proportional zur Sauerstoffkonzentration und damit Messsignal. Da der Sensor ohne bewegliche Komponenten auskommt sind mobile Anwendungen möglich.