Herstellung und AVT von hochtemperaturtauglichen piezoresistiven Wheatstone-Brücken für Sensorik in rauen Umgebungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kaehler, J.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E. (Institut für Halbleitertechnik, TU Braunschweig, Braunschweig, Deutschland)
Abstract:
Ein Verfahren zur Herstellung hochtemperaturtauglicher piezoresistiver p-SOI-Messbrücken wird beschrieben und die druckunterstützte Silber-Sinter-Verbindungstechnik zum Aufbau der realisierten Sensoren ausführlich erläutert. Zudem werden Qualifizierungsdurchläufe (Temperatur-Lastwechsel) an aufgebauten Messbrücken vorgestellt, die für die Vibrationsüberwachung beim Hochleistungstiefbohren genutzt werden sollen.