Monolothisch integrierte GMR/TMR Sensoren für Automobilanwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Zimmer, J.; Bever, T.; Raberg, W.; Schmitt, S. (Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, Deutschland)
Prügl, K. (Infineon Technologies AG, 93049 Regensburg, Deutschland)
Abstract:
Es wird ein Prozess vorgestellt zur monolithischen Integration von magnetoresistiven (AMR/GMR/TMR) Strukturen in CMOS oder Bipolar Halbleitertechnologien zur Fertigung von Magnetfeldsensoren für Automobilanwendungen. Dieser Prozess stellt topologiefreie Kontaktbereiche für das xMR-Schichtsystem zur darunterliegenden Verdrahtungsmetallisierung bereit, die höchst zuverlässige und reproduzierbare Verbindungen ermöglichen. Das Integrationskonzept erlaubt ferner eine einfache Fertigung von TMR-Sensorelementen, die in der CIP-Konfiguration betrieben werden können. Dadurch werden im Vergleich zur GMR-Technologie höhere Signalhübe bei gleichzeitig erhöhtem spezifischen Widerstand erzielt. Die monolithische Integration von xMR-Elementen ermöglicht die Realisierung intelligenter und zuverlässiger Sensorsysteme mit sehr geringen Störgrößen und großer Robustheit gegenüber äußeren Störsignalen.