Energy Harvesting aus Vibrationsenergie: 3D-MEMS-Design und low-cost Verfahren zum Laden von Elektreten
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Mescheder, Ulrich; Saad, Awad; Müller, Bernhard (Hochschule Furtwangen, 78120 Furtwangen, Deutschland)
Nimo, Antwi (IMTEK - Institut für Mikrosystemtechnik, 79110 Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Es wird ein neues Design eines mikromechanischen Energy Harvesters vorgestellt, der Vibrationsenergie aus allen drei Raumrichtungen aufnehmen kann und die kinetische Energie mittels an vertikalen Seitenwänden mit Elektret beschichteter Kammelektroden in elektrische Energie umwandelt. Seitlich aufgebrachte Elektrete können mit einem neuen low-cost Verfahren mittels eines normalen kommerziellen Ionen-Haartrockners aufgeladen werden. Mit dieser Aufladungsmethode werden für Elektrete auf horizontalen Flächen extrem hohe Ladungsdichten von bis zu 37,5 mC/m2 für SiO2 und 2,4 mC/m2 für CYTOP erreicht. Auf vertikalen Elektrodenflächen ist die Aufladung durch den Abstand benachbarter Elektroden begrenzt und für kleine Abstände deutlich kleiner.