Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Greiner, F.; Eberhardt, J.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut EMK, Merckstr. 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)

Abstract:
Ein senkrecht auf einem Substrat angeordneter Mikrodraht hat zwei laterale translatorisch-rotatorische Bewegungsfreiheitsgrade. Die galvanische Abscheidung ermöglicht dessen platzsparende Fertigung in der Nano- bis Mikrometerskala. Diese Veröffentlichung zeigt die Dimensionierung eines neuartigen Inertialsensordesigns mit Drehraten- und Beschleunigungssensorfunktion und nur einer Inertialmasse. Zur Fertigung des Drahts mit 100 µm Länge und 3-6 µm Durchmesser ist XR Direkt LIGA vorgesehen. Erste Laborergebnisse eines Mehrschichtprozesses auf Basis von UV Direkt LIGA zeigen die Machbarkeit eines Technologiedemonstrators mit einem Kupfer-Mikrodraht von 400 µm Länge und 40 µm Durchmesser.