Modular Adaptierbare Mikrooptische Systeme für die Mess- und Nachrichtentechnik

Abstract:
In der Mikrosystemtechnik ist neben dem Trend zu immer kleiner werdenden Strukturen, speziell im Bereich von Nischenmärkten, ein deutlicher Trend in Richtung modularer Messsysteme zu erkennen. Explizit für Anwendungen mit kleinen bis mittleren Stückzahlen im Bereich der optischen Messtechnik, wurde am Karlsruher Institut für Technologie ein modulares mikrooptisches System (kurz MicroMops) entwickelt. MicroMops basiert auf dem Prinzip der hybriden Integration mikrotechnischer Funktionsmodule. Es zielt dabei nicht auf eine bestimmte Applikation ab, sondern kann flexibel an unterschiedlichste Anwendungen angepasst werden. Hierfür verfügt MicroMops über ein flexibles Schnittstellenkonzept, das es ermöglicht verschiedene, auch kommerziell verfügbare Komponenten mit in das System zu integrieren. Im Bereich der optischen Module kommen hybrid integrierte hochvergütete optische Komponenten aus Glas zum Einsatz. Sie werden in präzise Haltestrukturen montiert, die mittels LIGA-Technik hergestellt wurden und somit ein aktives Alignment der Komponenten vermeiden. Auf diese Weise eignet sich MicroMops schon heute für eine vollautomatisierte Montage. Ebenso ermöglicht der Einsatz verschiedener Mikroaktoren Anwendungen, die eine Weglängenänderung im System erfordern oder gestattet den Einsatz in verschiedenen Messapplikationen wie beispielsweise einer optischen Brechzahlbestimmung.